Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+pp+(p+nn+)-типа | Андрей Полисан, Владимир Астахов | Электронная книга

132 ₽

В наличии